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制藥用工業超純水機系統設備主要由制備單元和儲備與分配系統兩部分組成，制藥用蒸汽系統則主要由制備單元和分配系統兩部分組成，這兩部分系統是相似的。其中，制備單元主要包括軟化水機、純化水機、高純水機、蒸餾水機及純蒸汽發生器。